了解晶圓接觸角測量儀的工作過程

2025-07-02

晶圓接觸角測量儀主要用于評估晶圓表面潤濕性、涂層均勻性及清潔度等關(guān)鍵參數(shù)，其應(yīng)用場景包括半導(dǎo)體制造、材料研發(fā)、表面處理等領(lǐng)域‌。

晶圓接觸角測量儀通過測量液滴在晶圓表面形成的接觸角來評估表面性質(zhì)。具體步驟如下：

1、液滴形成：利用精密進液系統(tǒng)將微量測試液體（如水、有機溶劑）精確滴加至晶圓表面，液滴體積通?？刂圃趲孜⑸翈资⑸g。

2、光學(xué)成像：高分辨率光學(xué)系統(tǒng)（如顯微鏡、CCD或CMOS相機）捕捉液滴圖像，確保細(xì)節(jié)清晰可見。

3、圖像分析：通過圖像處理軟件對液滴輪廓進行預(yù)處理（如灰度化、二值化、邊緣檢測），并采用圓法、橢圓法或切線法等算法計算接觸角。

優(yōu)勢：

1、高精度測量：角度分辨率可達±0.01°，重復(fù)性誤差小于±0.5°，能夠準(zhǔn)確捕捉微小接觸角變化。

2、非接觸式檢測：避免傳統(tǒng)接觸式測量對晶圓表面的潛在損傷，尤其適用于高精度半導(dǎo)體制造場景。

3、快速測量：支持多位置連續(xù)滴液與自動化測量，單次檢測時間縮短至秒級，大幅提升生產(chǎn)效率。

4、多液體兼容性：可測試水、有機溶劑、酸堿溶液等多種液體，全面評估表面潤濕性與化學(xué)穩(wěn)定性。